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91污视频在线观看為（wéi）你講解高精（jīng）度蝕刻技術：反應離子蝕刻
反應（yīng）離子蝕刻技術是一種物理化學工藝過程。化學反應氣體(自由（yóu）基、離子)與待除去的銅箔反應。生成一種揮發性氣體化合物，它（tā）很容易從此表麵（miàn）上抽吸掉。反應等離子蝕刻是有選擇性的，優先與要去除的（de）銅箔發生反應，但不與保護膠（jiāo）發生反（fǎn）應。反應離子（zǐ）蝕刻可以是全方位的(各向同性)，也（yě）可以是有方向性（xìng）的(各向異性)，取決於使用的等離子條件。當然，在高精度（dù）的（de）製造場合，我們選取的是其各向異性的特征。該蝕刻方式不僅蝕刻精度高，而且蝕刻速率快（kuài）(每分鍾蝕刻銅箔的速率為幾千埃)，是最（zuì）為理想的高精度時刻方式。
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