化學蝕刻中常見的(de)問題
化學蝕刻中常見的問題有:
1、 邊緣輪廓線不清楚,這種情況是因(yīn)為(wéi)零件表麵沾汙,如手印、化學(xué)汙染、氧化膜、防(fáng)蝕層邊(biān)緣不清晰等,還有就是蝕刻液濃度不在工藝(yì)規定範圍內,這種情況下首先需要加強(qiáng)各工序管理,防止二次汙染(rǎn),在蝕刻之前對防蝕層檢查要嚴格,其次分析調整蝕刻液(yè)各成(chéng)分至工藝規定範(fàn)圍。
2、 粗糙的蝕刻表麵,被(bèi)蝕刻表麵有(yǒu)溝槽、留(liú)痕及點蝕,其主要原因是蝕刻液中AI3+濃度太高,NaOH濃度太高或太低,蝕刻後酸洗後,漂洗不淨,糾正的方法就是分析調整蝕刻液各成份濃度到工藝規定範圍,加(jiā)強(qiáng)酸洗後的水洗質量。
3、 形成凹坑(kēng)主要是因為蝕刻液中AI3+濃度及NaOH濃度太高,處理(lǐ)的方法就是稀釋蝕刻液,降低濃(nóng)度(dù)。
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