化學蝕(shí)刻中常見的問題
化學蝕刻中常見的問題有:
1、 邊緣輪廓線不清楚,這種情況是因為零件表麵沾汙,如手印、化學汙染(rǎn)、氧化膜、防蝕層邊緣(yuán)不清晰等,還有就是蝕刻液濃度不在工藝規定範(fàn)圍內,這種情況下(xià)首先需要加強各(gè)工序管理,防止二次(cì)汙染(rǎn),在蝕(shí)刻之前對防蝕層檢查要嚴(yán)格,其次分析調整(zhěng)蝕刻(kè)液各成分至工藝規定範圍。
2、 粗糙的蝕刻表麵,被蝕(shí)刻表麵有溝槽、留痕(hén)及點蝕,其主要原因是蝕刻液中AI3+濃(nóng)度太高,NaOH濃度太高(gāo)或太(tài)低,蝕刻後酸洗後,漂洗不淨,糾正的方法就是分析調整蝕刻液各成份濃度到工藝規定範圍,加強酸洗(xǐ)後的水洗質量。
3、 形成凹坑主要是因為蝕刻液中AI3+濃度(dù)及NaOH濃度太高,處理的方法(fǎ)就是稀釋(shì)蝕刻液,降低濃度。
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